2月6日上午，上海集成電路材料研究院（“集材院”）在上海化學(xué)工業(yè)區(qū)投資建設(shè)的集成電路材料合成實(shí)驗(yàn)室正式啟用，這既是上海電子化學(xué)品專區(qū)加快打造自主創(chuàng)新平臺(tái)的重要組成部分，也是上海國際化工新材料創(chuàng)新中心重點(diǎn)引入的研發(fā)試驗(yàn)機(jī)構(gòu)之一，成為上?；^(qū)加速創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈與創(chuàng)新鏈融合發(fā)展的又一重要里程碑。

2020年以來，上?；^(qū)主動(dòng)對(duì)接國家戰(zhàn)略和上海集成電路等先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，全力推進(jìn)上海電子化學(xué)品專區(qū)建設(shè)，并以培育自主創(chuàng)新平臺(tái)為紐帶，助力促進(jìn)科創(chuàng)建設(shè)協(xié)同發(fā)展，取得顯著成效。

管委會(huì)黨組書記、主任馬靜，管委會(huì)副主任侯金花，發(fā)展公司總經(jīng)理金健，中科院微系統(tǒng)所黨委書記俞躍輝，中科院微系統(tǒng)所副所長、集材院董事長兼總經(jīng)理俞文杰等出席揭幕儀式，并參觀現(xiàn)場(chǎng)和座談交流。

面向集成電路材料企業(yè)在性能測(cè)試與研發(fā)驗(yàn)證等方面的共性訴求，集材院于2022年1月在電子化學(xué)品專區(qū)注冊(cè)成立全資子公司上海集材微電子材料技術(shù)有限公司，落戶上海國際化工新材料創(chuàng)新中心。注冊(cè)資本3000萬元，一期項(xiàng)目建設(shè)總投入1.5億元，總建筑面積近2100㎡。該平臺(tái)建成合成實(shí)驗(yàn)室、放大實(shí)驗(yàn)室、純化及罐裝實(shí)驗(yàn)室、分析實(shí)驗(yàn)室等專業(yè)實(shí)驗(yàn)室，可開發(fā)化學(xué)合成技術(shù)、合成結(jié)構(gòu)精準(zhǔn)可控的集成電路材料，探索放大工藝、制備公斤級(jí)集成電路材料，并開發(fā)原料純化技術(shù)、制備ppb、ppt級(jí)金雜含量的集成電路材料。分析實(shí)驗(yàn)室可提供全面、系統(tǒng)性的集成電路材料測(cè)試表征分析，并將逐步建立起集成電路材料分析測(cè)試及操作規(guī)范的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，分析實(shí)驗(yàn)室服務(wù)能力向?qū)^(qū)內(nèi)企業(yè)共享開放。

來源：電子工程網(wǎng)